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吸着量測定:ガス吸着・水蒸気吸着

BELQCM

ナノセンシング吸着量測定装置

水晶振動子重量法は、検出感度の高さから微少質量変化測定に利用されています。本装置は水晶振動子マイクロバランス法を採用し、ナノグラムオーダーの微少吸着量の測定を可能としました。
振動子に薄膜を形成し、ガス/蒸気の吸着により変化する振動数から質量変化を検出し、 吸着量を測定します。これより、従来の方法では測定できなかった微少な吸着挙動を詳細に評価することが可能となりました。

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仕様

BELQCM(測定部)

サンプル数
測定温度範囲 10~80℃
前処理 最大 80℃、不活性ガス流通
分解能 1.23ng/cm2 (0.1Hz)
水晶振動子
周波数 :6MHz
電極  :金
電極面積:19.6mm(5mmφ)
測定サンプル 高分子又は無機物分散薄膜等(水晶振動子に蒸発乾固)
電源 AC 100V
寸法(セル寸法) W320 x D450 x H320 mm
(W200 x D250 x H195 mm)
W550 x D450 x H380 mm
(W340 x D280 x H220 mm)

BELFlow(吸着ガス/蒸気制御部)


型番

BELFlow-1
(標準仕様)

BELFlow-2
(低濃度仕様)

BELFlow-3
(混合蒸気仕様)
測定濃度(湿度)範囲 0,0.2~95vol%(%RH) 0,0.02~95vol%(%RH) 0,0.02~95vol%(%RH)
凝縮器温度範囲 10~80℃
最大流量 100sccm 100sccm 200sccm
吸着質 H2O、アルコール、ヘキサン、炭酸ガス、その他
コンピュータ WindowsXP以上(256MB以上のメモリーが必要)
電源 AC 100V
寸法 W320 x D450 x H400 mm W360 x D530 x H400 mm W570 x D670 x H1100 mm

解析データ

文献情報

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